| ガラス基板用多段式ベーキング装置のご紹介 |
 |
 |
| 洗浄機からコーター機の脱水処理（脱水ベーク機）、コーター機から露光機の間のプリベーク（ソフトベーク機）を行うガラス基板乾燥装置です。 |
| 特 徴 | |
| ● | ホットプレート方式を採用。安定した温度分布が得られます。 |
| ● | 搬送ロボットによる柔軟なハンドリングが可能です。 |
| ● | 各種バッファリング機構により、前後行程にあわせることが可能です。 |
| ● | 多段プレート式により、メンテナンスが容易に行えます。 |
| ● | ホットプレートは最高６基、クーリングプレートは２基まで増設できます。 |
| 仕 様 | ||
| ● | 対象ワーク | 440×550×0.7mm（その他サイズにも対応できます。） |
| ● | 所要電力 | 30KW（AC200V3相50/60HZ） |
| ● | エアー消費量 | 300Ng/分（5kg/cuG） |
| ● | 温度範囲 | 常温〜150℃ |
| ● | 温度分布 | プラスマイナス３℃（ワーク表面温度 at100℃） プラスマイナス１℃（ワーク表面温度 at23℃） |
| ● | 機械寸法 | L3100×W3200×H2300mm |
下のボタンをクリックしてください。
| Hiraga Machinery Mfg.Co.,Ltd. COPYRIGHT 1998 |